基本信息
主管：中国乐凯集团有限公司
主办：北京乐凯科技有限公司
出版地区：河北省保定市
发行周期：月刊
创刊时间：1978
邮发代号：18-185
出版信息
主管：中国乐凯集团有限公司
📚版面字符： 6000以上
📑页数： 248页
🔍查重要求： 知网20%
📈复合影响因子：0.418
📈综合影响因子：0.21
👉审稿周期：暂不确定
🔑基金/课题要求：不限制
学术目录： 第一批
收录：知网,万方,维普
发文刊期：26年6-7月版面
📌类别：化学,计算机
每期发文量：79篇
审稿难度：
下载中心
- 《信息记录材料》推荐函介绍信
- 信息记录材料稿件授权书下载 发文量：15943 篇 下载次数：3637651次 被引次数：39960次
基于机器学习的晶圆缺陷在线检测与分类算法优化研究
作者：李瑞琪
发布日期:2026-04-15
摘要:针对晶圆制造过程中表面缺陷检测精度低、实时性差以及多类别缺陷分类准确率不足等问题，本文提出了一种基于机器学习的晶圆缺陷在线检测与分类算法优化方案。该方案通过优化...